現代供電網絡日趨龐大,彼此間的電磁耦合緊密,系統故障點引起的電壓擾動往往會波及更大范圍的用電負載。電力系統經常因為短路等不可預防的故障引發電壓暫降問題。而在半導體行業中,芯片制造工藝復雜,芯片中電路的制作需層層疊代、環環相扣,芯片從硅圓片上線加工到芯片封裝銷售,整個過程將近上百道工序,一道工序的加工失誤均會導致整個晶圓片的報廢。
在半導體行業中的敏感負載有:廠務排風系統(潔凈室)、PCW工藝水、UPW超純水系統;光刻機;離子注入機;刻蝕機;機臺控制系統等。這些系統或負載遇到電壓暫降之后,會受到不同程度的影響;嚴重時會導致整條生產線所生產的芯片報廢,給企業帶來很大的經濟損失。
電壓暫降的危害是生產流程中斷造成的直接經濟損失,還會出現成品率降低、延遲交貨、和設備壽命的降低;晃電事故嚴重的話,時還會影響企業在客戶心中的信譽度,從而導致的客戶流失等。
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